常用的
T型槽平臺平面度檢定方法有兩大類:間接測量法和直接測量法。
T型槽平臺間接測量法是利用水平儀或自準(zhǔn)直儀在被測平面若干個測量截面上,以節(jié)距法進行測量,得到各被測點相對于測量基準(zhǔn)(水平面或光軸直線)的傾斜角度,在取得最后結(jié)果時,將角值表示的量值換算為以線值表示的量值。這種方法從儀器器中讀得的數(shù)值是角度值,因此也叫角差法。屬于這類方法的有水平儀法和自準(zhǔn)直儀法。
T型槽平臺直接測量法是直接獲得平面各點偏差值或直接評定平面度誤差值。這種測量方法可直接得到線值結(jié)果,因此也叫線差法。屬于這類測量方法的有
刀口直尺或平尺的墊塞法,標(biāo)準(zhǔn)平板的打表法,激光準(zhǔn)直儀測量法。
一、T型槽平臺刀口直尺測量法
1.光隙法,該法以刀口直尺作為基準(zhǔn),用光隙法進行測量,檢定時將刀口直尺置于被檢平板若干截面上,觀察光隙大小,并與標(biāo)準(zhǔn)光隙相比較,定出誤差值,取其中最大值作為T型槽平臺平面度誤差。
標(biāo)準(zhǔn)光隙由平晶、
量塊、
刀口直尺組成,用兩塊等高
量塊研合在2級平晶的工作面上,選取比等高
量塊尺寸依次小于1um、2um、3um、4um的四塊1級
量塊,按尺寸大小排列,并研合在兩等高
量塊之間的平晶上,然后將
刀口直尺置于兩等高塊上就構(gòu)成了1-4um的標(biāo)準(zhǔn)光源。此方法適用于磨制或研磨加工的小
鑄鐵平板平面度檢定。
2.墊塞法,在被檢測
T型槽平臺截面的兩端放置兩塊尺寸相同的
量塊,
刀口直尺放在
量塊上,在截面被檢點塞入的
量塊或
塞尺與兩端相同尺寸
量塊尺寸的差為被檢點對兩端點連線的偏差,在進行數(shù)據(jù)處理,求得平面度誤差值。此方法適用于低準(zhǔn)確度
T型槽平臺平面度檢定。
二、T型槽平臺平尺測量法,此方法用平尺、千分表和量塊或是專用等高塊進行測量,將等高塊支撐在距離平尺兩端1/9L(L是平尺長度)處,按照規(guī)定截面和測點進行測量,也可以用塞量塊的方法代替千分表測量,求得被檢點兩端點連線偏差,進行數(shù)據(jù)處理,獲取T型槽平臺平面度值。此方法適用于低準(zhǔn)確度鑄鐵平板平面度檢定。
三、T型槽平臺指示器測量法,用帶指示器的測量裝置或坐標(biāo)測量儀測出被測面相對于測量基面的偏差值,求得平面度誤差。檢定時將兩對角線的角點分別調(diào)成等高或大致等高(也可以調(diào)整任意三遠(yuǎn)點),按一定布點形式逐點移動測量裝置,記錄指示器示值hi,就可以得到各個測點相對測量基面的坐標(biāo)值。如果兩對角線點示值分別相等,則按對角線法評定的平面度誤差值為hmax-hmin.此方法適用于中小T型槽平臺平面度誤差檢定。
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